双面（研磨）抛光机 DS1700

关键字：

研磨

抛光盘外径：

游行轮数量：

最大加工尺寸：

抛光盘转速：

外齿轮转速：

内齿轮转速：

安装电源功率：

电源电压：

设备规格：

设备重量：

1600mm

6个

Ø480*th100 mm

0-50 tr/min

0-8 tr/min

0-50 tr/min

80KW

3相380V

1.9*2.8*H3.5 m

12T

产品分类：

产品定位

超大型量产型双面研磨/抛光旗舰机型，DS系列顶端机型，面向大尺寸晶圆、大规格光学基片的大批量双面精密加工，适用于半导体工厂、大型光学产线连续化量产，兼顾超高精度试样开发。

产品特点

五个电机分别控制不同机构，独立驱动结构：上盘、下盘、中心齿轮‑内齿圈复合驱动，行星运动轨迹可编程，针对大尺寸工件解决加工均匀性难题，大面积盘面平面度一致性优秀，抛光盘使用耐腐蚀性特种定制金属盘，完美规避半导体材料的特色加工以及CMP工艺的耐腐性要求。

闭环伺服加压系统，超大上盘气缸组，压力分段精准调控，精确调整旋转速度以及抛光液流量。

整机全盘面水冷恒温循环系统，巨大盘面长时间连续生产温度漂移极小，适合7×24小时不间断量产。

大容量多路独立抛光液精准供给，多管路分区喷淋，可分区调整不同区域供液流量，适配大盘面不同位置工艺差异。

大型触控PLC控制系统，可存储上百套成熟工艺配方，支持生产数据记录、导出，适配工厂MES对接；配备多重安全联锁、安全防护舱门、安全限位传感器。

丰富选配：在线厚度监测系统、自动上下料机械传动、自动修盘单元、高精度微压力调节、废液集中处理系统等，可定制完整自动化产线。

规格	DS 1700
设备抛光外径 Bowl size	1700mm
抛光盘尺寸 Rotating tools	1600mm
游行轮轨迹网 Carriers track net Ø	6pcs*Ø515 mm
最大加工尺寸 Max.Working Size	Ø480*th100 mm
抛光盘转速 Plates rotation speed	0-50 tr/min
外齿轮转速 Outer gear rotation speed	0-8 tr/min
内齿轮转速 Inner gear rotation speed	0-50 tr/min
安装电源功率 Installed electrical power	80 kw
电源电压 Voltage	3*380 v
设备规格 Dimension	1.92.8H3.5 m
设备重量 Weight	12 T

可加工材料
碳化硅、硅晶圆、蓝宝石、各类激光晶体、氟化物、硒化锌、硫化锌、锗、铌酸锂、各类光学玻璃、氧化铝/氧化铍陶瓷、各类红外基材、特种合金等各类硬脆大小尺寸的精密材料。
应用场景
12英寸半导体衬底、大尺寸光学窗口、航空航天大规格零部件、军工大型光学元件、高端医疗元器件，面向大型工厂规模化双面抛光生产线。